Orion 測試資料平台 - Wafer Map 晶圓圖顯示
📊 測試資料平台

Orion

Testing Production System

完整的半導體測試資料管理平台,涵蓋 WAT/CP/FT 全製程,支援車用品質管制 (PAT),為封測廠提供 90% 以上的生產功能需求。

核心功能
  • 晶圓測試 (WAT/CP) 資料管理
  • 成品測試 (FT) 生產追蹤
  • 車用品質管制 (PAT) 支援
  • SPC 統計製程控制
  • 良率分析與報表產出
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ECMS 邊緣運算系統 - 即時監控應用場景
⚡ 邊緣運算系統

ECMS

Edge Compute Management System

邊緣運算即時監控系統,將資料處理移至設備端,實現毫秒級即時反應。支援 GPIB 生產中斷報警與 RPA 自動化代操。

核心功能
  • <10ms 即時反應延遲
  • 0.1s 高頻環境參數採集
  • GPIB 介面生產中斷報警
  • RPA 自動化代操
  • 多 Sensor 外接資訊整合
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ESM2 設備管理平台 - Rule Dashboard
🔧 設備管理平台

ESM2

Equipment Status Management 2.0

機台參數分析與預知保養系統,提供 Rule-Based 異常監控與預測性維護,協助工程師提前發現設備問題。

核心功能
  • 機台參數即時監控
  • Rule-Based 異常告警
  • 預測性維護分析
  • 設備健康度評估
  • 維護排程最佳化
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Auto Setup 自動化系統 - CKS/VPG 整合控制
🤖 自動化系統

Auto Setup

Production Automation Solution

整合 Auto Loader、DC 與 PMI 的生產自動化解決方案,減少人工操作,提升生產效率與一致性。

核心功能
  • Auto Loader 自動上下料
  • DC 參數自動設定
  • PMI 針痕自動檢測
  • CKS/VPG 整合控制
  • 生產流程自動化
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PMI AI 智慧針痕檢測 - 搜尋與判定介面
🧠 智慧針痕檢測

PMI AI

Prober Mark Inspection AI System

AI 智慧針痕檢測系統,採用深度學習技術自動判定探針針痕品質,取代傳統人工目視檢測。

核心功能
  • 深度學習 CNN 模型
  • 每片 <1 秒判定速度
  • >99% 判定準確率
  • 24/7 全自動檢測
  • 持續學習自動優化
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產品比較

選擇適合您的解決方案

功能特色 Orion ECMS ESM2 PMI AI
主要用途 測試資料管理 即時監控 設備管理 針痕檢測
反應速度 秒級 <10ms 秒級 <1秒/片
AI 功能 良率分析 異常預測 預測維護 深度學習
適用場景 CP/FT 全製程 邊緣運算 設備維護 品質檢測
整合能力 90%+ 功能覆蓋 多 Sensor 多機台 與 Orion 整合

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